C1: Cad iad na cóimhiotail íonachta ard-ard a úsáidtear i gcórais seachadta gáis leathsheoltóra?
A1:Electro-polasaithe 316L VIM-VAR (Ionduchtú Fholúis leáite-Vacuum Arc) Tá cruach dhosmálta caighdeánach do gháis ard-iteachta {. cóimhiotail nicil cosúil le Hastelloy C -22 Láimhseáil Réamhthionscanta Creimneach} Coinníonn na hábhair seo leibhéil íonachta faoi bhun 1ppb leibhéil éillithe {.
C2: Cén chaoi a ndéantar comhaireamh na gcáithníní a rialú i bpíobaireacht ghrád leathsheoltóra?
A2:Cuireann cóimeáil an tseomra glanta cosc ar éilliú cáithníneach le linn suiteála {. glanadh ultrasonaic Baineann iarmhair déantúsaíochta . próisis éighníomhacha Ceimic dromchla . Córais íonachta leanúnacha a chothabháil timpeallachtaí támh . cuntair cháithníní léasair a fhíorú go nglanann 1 (caighdeáin 1 (caighdeáin 1 (caighdeáin léasair (caighdeáin 1 (caighdeáin léasair (<0.1 particles/ft³ >0.1μm).
C3: Cad a dhéanann painéil gháis leathsheoltóra difriúil ó phíopaí tionsclaíocha?
A3:Baineann painéil leathsheoltóra úsáid as comhpháirteanna íonachta ard-ard le naisc séalaithe miotail . bailchríocha dromchla a bhaint amach<5Ra micro-inch smoothness. Specialized valves and regulators prevent outgassing. Complete systems are helium-leak tested to <1×10⁻⁹ atm-cc/sec. These extreme measures prevent wafer contamination.
C4: Cén fáth a bhfuil teicnící táthúcháin speisialta ag teastáil le haghaidh píopaí leathsheoltóra?
A4:Laghdaíonn an táthú fithise pulsed ardmhinicíochta ionchur teasa agus saobhadh . ar ais le hurghláthracht íonachta ultra-ard a chuireann cosc ar ocsaídiú . Córais uathoibrithe a chinntiú go n-ath-in-ath-inmharthanacht . Déanann na táthaithe seo an t-imscrúdú fo-chrúp agus tástáil sceite héiliam {{}} Déanann na coincheapa seo an t-imchruinniú a chothabháil. leibhéil .
C5: Cén chaoi a ndéantar píopaí seachadta gáis a bhailíochtú le haghaidh fabs leathsheoltóra?
A5:Áirítear le bailíochtú anailís gáis iarmharach le haghaidh ábhar salaithe . SIMS (mais -speictriméadracht ian tánaisteach) a sheiceáil comhdhéanamh dromchla . Tástálacha cainníochtaithe cainníochtú astaíochtaí so -ghalaithe . Dearbhaíonn na tástálacha seo go gcomhlíonann na tástálacha SHIG
